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Prozesstechnik, Prozesscharakterisierung & Optimierung | |
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Ein
technologisch sehr anspruchsvoller Beschichtungsprozess ist jener der
Physical Vapour Deposition Beschichtung (PVD-Beschichtung). PVD ist die
Abscheidung von Material aus der physikalischen Gasphase. Die
PVD-Beschichtung ist nicht nur ein Prozess, sondern differenziert sich in eine
Vielzahl von unterschiedlichen vakuumtechnischen Prozessen und
Beschichtungsstoffen, abhängig von Funktionalität der Beschichtung, sowie
der Beschaffenheit des Trägermaterials. So können mit der PVD-Technologie
Gläser, Metalle, Halbleiter oder Kunststoffe beschichtet werden. |
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Typische
Anwendungen derartiger dünner PVD-Schichten liegen im Bereich der Optik
(z.B. Brillenbeschichtung, Architekturglasbeschichtung, Herstellung von
optischen Systemen wie Linsen und Strahlteiler, Herstellung von
Laserspiegeln, Filter für die Telekommunikation), im Bereich des
Maschinenbaus und der Werkzeugtechnik (z.B. Korrosionsschutzschichten,
Hartstoffschichten für Dreh- und Fräswerkzeuge, Gleitreibungsschichten
für Lager oder Oberflächenschutzschichten). |
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Für die Erfüllung dieser unterschiedlichsten Aufgaben und Anwendungsgebiete werden PVD-Prozesse wie zum Beispiel thermisches Verdampfen, Sputtern, Ion-Plating oder Arc-Verdampfung eingesetzt, die in entsprechenden Vakuumanlagen unter definierten Bedingungen (Druck, Gase, Ströme, Spannungen) ablaufen. In zunehmenden Maße kommen im industriellen Umfeld der PVD-Beschichtung auch plasma- und ionenunterstützte Prozesse zur Anwendung, bei denen zur konventionellen Verdampfung des Beschichtungsgutes zusätzliche Plasma- und Ionenquellen eingesetzt werden, um die geforderten mechanischen, optischen, oder elektrischen Eigenschaften der aufgedampften Dünnen Schichten weiter zu optimieren. | |
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Die Einsatzgebiete der Dünnschichttechnologie wurden in den letzten Jahren von den klassischen Anwendungsgebieten wie Optik und Maschinenbau kontinuierlich auf neue Anwendungsgebiete, wie den medizinischen Bereich (z.B. antibakterielle Schichten, Schutzschichten für Implantate, Barriereschichten), die Verpackungsindustrie, sowie dekorative Anwendungen erweitert. Die Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik, zwei Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts, sind ebenso sehr stark mit der Dünnschichttechnologie verbunden und nutzen diese Prozesse und Technologien zur Realisierung von neuen Anwendungen und Produkten. Dies erfordert allerdings, dass bestehende Prozesse weiterentwickelt und optimiert, oder dass neue Prozesstechnologien entwickelt werden. Grundlage für die Optimierung und Entwicklung von Beschichtungsprozessen ist ein entsprechendes Prozess und Anlagen Know-How. | |
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(c) 2007 - PhysTech Coating Technology GmbH | ||
